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民国元年（1912），五原厅改县，仍统领今临河区境。民国14年（1925）9月14日，国民政府内务部批准，设置临河设治局，析五原县丰济渠以西为其行政区域，驻永济镇。民国18年（1929）1月21日，国民政府行政院内务部核准，将临河设治局改设临河县，隶属绥远省。民国31年（1942），绥远省在后套实行“新县制”，划出临河县西部北部地和西南部地区设置米仓县（今三道桥）；划出临河县北部和东部地区设置狼山县（今狼山镇）；在陕坝地区设立陕坝市政筹备处（县级）。民国34年（1945）9月，临河县隶属绥远省在陕坝设置的绥西专员公署。